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静電チャック用高圧電源

シリーズ名	入力範囲	出力電圧範囲	出力電力範囲	サンプル写真
HV 5W～10W	AC100V　AC200V	DC500V～50kV PorN 安定、可変	5W～10W
HV 20W～30W	AC100V　AC200V	DC500V～50kV PorN 安定、可変	20W～30W

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